臭氧是人类已知的仅次于氟的第二位强氧化剂，臭氧在一定浓度下能与细菌，病毒等微生物产生生物化学反应。臭氧有很高的能量，所以很不稳定，在常温，常压下分子机构易变，
很快自行分解成氧（O2），和单个氧原子（O）,单个氧（O）具有很强的活性 ，对细菌，病毒等微生物有较强的氧化作用。
臭氧能氧化分解细菌内部氧化葡萄糖所必须的葡萄糖氧化酶，并直接与细菌，病毒发生作用，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DND、RND、蛋白质。脂质类和多糖等大分子聚合物，
使细菌的物质的新陈代谢生长和繁殖过程遇到破坏。还可以渗透细胞膜组织，侵入细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，是细胞发生通透性畸变，导致细胞溶解死亡，并且将死亡
菌体内的遗传基因，寄生菌种、寄生病毒粒子，噬菌体，支原体及热原（内毒素）等溶解变性死亡。综观无菌技术对微生物作用的原理可分为抑菌、杀菌和溶菌三种。臭氧灭菌消毒属于
溶菌剂，即可以彻底、永久地消灭物体内部所有微生物。
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